一种晶圆清洗固定装置.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种晶圆清洗固定装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆清洗固定装置，包括阻挡板、活塞杆和缓冲针阀，所述阻挡板下端设置有基座，且基座中部设置有流水槽，所述基座上方设置有支座，且支座上方放置有气缸，所述活塞杆通过轴承连接有连接杆，且连接杆连接有夹具，所述夹具中间固定有晶圆，且夹具一端连接有转轴，所述转轴前端连接有电动机，且电动机下方设置有支撑板，所述晶圆下方安装有喷嘴，且气缸内部有缸筒，所述缸筒两侧设置有活塞密封，且滑动轴套外侧安装有活塞杆盖。该晶圆清洗固定装置，在夹具上连接有转轴，靠电动机带动转轴，使晶圆转动，从而得到全方位的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212848321 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202021901208.8 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人河南通用智能装备有限公司