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本实用新型公开了一种传感器内部液体清除装置,涉及半导体芯片测试技术领域,传感器包括连通其内部空间与外部空间的端口,清除装置包括:安装座;安装在安装座的传感器支架,用于装载传感器;安装在安装座的驱动机构,与传感器支架传动连接,且被配置为能带动传感器支架旋转以使传感器内部的液体从端口抛出。本实用新型利用驱动结构提供的旋转力驱使传感器内部液体产生离心运动脱离传感器,以使传感器内部液体从内外空间通道上的微小端口被抛出,从而消除由于内部液体阻塞导致的传感器故障。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218511316 U
(45)授权公告日 2023.02.21
(21)申请号 202222268737.4
(22)申请日 2022.08.26
(73)专利权人 英特尔产品(成都)有限公司
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