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本实用新型涉及一种RH真空精炼系统，其机械真空泵机组包括串联布置于抽气主管上的三级罗茨泵单元和水环真空泵单元，第一级罗茨泵单元与RH真空室连接并且于二者之间的抽气主管上设有真空主阀，前三级罗茨泵单元均包括至少一个罗茨泵，水环真空泵单元包括至少一个水环真空泵。本实用新型采用水环真空泵替代传统的螺杆泵，由于水环真空泵可直排大气且具有很大的抽气能力，当真空室压力降到设定值之后再启动第三级罗茨泵，能有效降低罗茨泵的进气口和出气口压差，有效解决罗茨泵发热卡阻的问题。另外，采用水环真空泵替代螺杆泵，前三级罗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212864834 U
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202020378019.0
(22)申请日 2020.03.23
(73)专利权人 中冶南方工程技术有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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