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本发明提供了一种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置，包括：上盖组件；下盘体组件，设置在所述上盖组件下方，所述下盘体组件与所述上盖组件组合形成加热腔体；加热组件，安装在所述下盘体组件内部，对所述加热腔体内进行加热；温度调节组件，安装在所述下盘体组件内部，对所述加热组件进行温度补偿与调节；以及通风组件，安装在所述上盖组件上，在所述加热腔体内部排入、排出气体以维持所述加热腔体内的气流稳定，通过双重温度补偿的方式对加热组件进行温度补偿，将加热组件的温度调节至均匀一致，同时气流环境稳定，提高了加热效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212874437 U
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202021267595.4
(22)申请日 2020.07.02
(73)专利权人 沈阳芯源微电子设备股份有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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