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一种石英舟插片机辅助纠偏装置,解决了现有的石英舟插片机在插片时,如果发生偏移,可能会导致硅片损坏,无法保证硅片的插接精度,不利于使用的问题,其包括机架、侧板、插板、插槽、纠偏机构、机械手、硅片、机械臂、PLC控制器和缓冲机构,所述机架的两端均设置有侧板,机架的顶部通过缓冲机构放置有插板,插板的顶部均匀开设有若干个插槽,侧板顶部的内侧嵌入安装有纠偏机构,侧板顶端的内侧设置有机械手,机械手的底端卡接有若干个硅片,机械手的顶端与机械臂连接,侧板顶部的外侧安装有PLC控制器,本实用新型结构新颖,构思巧妙
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212848344 U
(45)授权公告日 2021.03.30
(21)申请号 202022112151.X
(22)申请日 2020.09.23
(73)专利权人 无锡森顿智能科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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