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2023-02-24 发布于四川
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一种烘干设备.pdf

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本实用新型实施例公开的一种烘干设备，包括反应器主体、加热装置和尾气处理装置；反应器主体内部设置有用于盛放锑粒的装料石英舟，反应器主体的进料口安装有用于通入氢气的进气管；加热装置包括多段加热套，加热装置安装于反应器主体的外部，且各段加热套沿反应器主体的轴向依次密封连接，装料石英舟设置于加热装置的中间位置；尾气处理装置包括尾气密封结构、尾气插管和尾气水箱，尾气插管的第一端通过尾气密封结构与反应器主体的出料口连通，尾气插管的第二端插入尾气水箱的液面以下。本实用新型提供的烘干设备用于烘干锑粒，同时避免烘

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218511412 U (45)授权公告日 2023.02.21 (21)申请号 202222382547.5 (22)申请日 2022.09.07 (73)专利权人广东先导微电子科