一种晶圆切割用内冷式刀头结构.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种晶圆切割用内冷式刀头结构.pdf

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一种晶圆切割用内冷式刀头结构，包括刀柄、刀杆、保护壳、密封圈、刀头连接部、刀头本体、接口端、进水管、进水孔，刀柄下端固定连接有刀杆，刀杆底部固定连接有刀头本体，刀头本体外部设有保护壳，保护壳与刀头本体转动连接，其上、下与刀头本体的连接处分别设有密封圈，保护壳及刀头本体位于保护壳内的部分为中空结构，刀头本体的侧壁上开设有进水孔，保护壳侧壁上设有接口端，接口端通过法兰与进水管的一端固定连接，进水管的另一端与外部的循环水箱相连接。本实用新型可直接对刀头本体的中心位置进行降温，保证了降温工作的高效进行，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212859969 U (45)授权公告日 2021.04.02 (21)申请号 202021139422.4 (22)申请日 2020.06.18 (73)专利权人天津众晶半导体材料有限公司