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2023-02-24 发布于四川
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本实用新型涉及机械领域，解决了目前测试MEMS器件时线缆较多、干扰大的技术问题。本实用新型的测试装置包括：上端盖、测试板和下端盖，上端盖和下端盖的外缘分别设置有多个第一凸台和第二凸台，第一凸台、测试板和第二凸台上分别开设有多个第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔，经同时穿过第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔的螺栓，使上端盖、测试板和下端盖形成密闭空间；测试板上铺设有覆铜线，覆铜线外引至上端盖或下端盖的外缘外；下端盖远离测试板的一侧，导通连接有与下端盖一体化连接的筒体。本实用新型用于减少MEMS器件测试时的信号

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212844317 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202022111587.7 (22)申请日 2020.09.24 (73)专利权人北京坦达联轩控制技术有限公司