压电式麦克风芯片、麦克风及电子设备.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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压电式麦克风芯片、麦克风及电子设备.pdf

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本实用新型公开一种压电式麦克风芯片、麦克风及电子设备，其中，所述压电式麦克风芯片包括基底和压电振膜，所述基底形成有贯通的通孔；所述压电振膜设于所述基底的一表面并覆盖所述通孔，所述压电振膜对应所述通孔的部分弯折形成有凹槽和/或凸起，所述凹槽和/或所述凸起贴近所述通孔开口的内边缘设置。本实用新型技术方案的压电式麦克风芯片可有效增大压电振膜振幅，提高灵敏度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212850998 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202022164665.X (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人潍坊歌尔微电子有限公司