一种激光切割用晶圆取料移动结构.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种激光切割用晶圆取料移动结构.pdf

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本实用新型公开了一种激光切割用晶圆取料移动结构，包括取料台、导轨和正反转电机，所述取料台内部开设有晶圆放置槽，所述取料台底部固定安装有气缸，所述伸缩杆位于气缸外部的一端与晶圆托盘底部固定连接，所述取料台右侧上方固定安装有立柱，所述第一圆盘支架和第二圆盘支架远离第一法兰盘和第二法兰盘的一侧外边缘均固定安装有两组支撑块。该激光切割用晶圆取料移动结构，结构设置合理，设置第一吸盘结构抓取晶圆，将晶圆送至第二吸盘结构抓取位置，通过正反转电机的转动，从而使第二圆盘支架带动第二吸盘结构在水平方向上的移动，完成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212823487 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202021861111.9 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人河南通用智能装备有限公司