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本实用新型涉及一种加装真空发生器的ASM设备,包括ASM设备本体以及桥架,所述ASM设备本体的一侧设置有真空发生器主体,所述真空发生器主体上开设有压缩空气口、排气口和真空口,所述压缩空气口和所述排气口处于同一水平轴线上,所述真空口的开口方向与所述压缩空气口、所述排气口垂直,所述真空发生器主体内设有喷嘴、扩散室和扩压器,通过在ASM设备本体上加装真空发生器主体的操作,将压缩空气转换成真空,增大真空吸力,让热块底部位置实现真空,增大真空后,通过热块上的小孔来吸牢框架,解决了原先在生产一些较宽的产品时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212885577 U
(45)授权公告日 2021.04.06
(21)申请号 202021559973.6
(22)申请日 2020.07.31
(73)专利权人 青岛泰睿思微电子有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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