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本实用新型公开了一种可实现多温度和多压力组合的在线自动测试系统,包括温度控制单元10、压力生成及控制单元20、测试单元30、传送单元40、过渡单元50,其中温度控制单元10用于提供测试所需的温度,压力生成及控制单元20用于提供测试所需的压力,测试单元30用于采集和处理标的物在测试过程中产生的电信号,传送单元40用于标的物在各工位间的传送,过渡单元50置于不同温度控制单元10之间,用于避免不同温度控制单元10组合时的相互干扰。本发明实现电子元器件在多个温度点和压力点下的在线自动测试,而且测试过程安
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212905188 U
(45)授权公告日 2021.04.06
(21)申请号 202021413540.X
(22)申请日 2020.07.17
(73)专利权人 北京清大天达光电科技股份有限
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