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一种两端带水冷的工艺管.pdfVIP

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  • 2023-02-26 发布于四川
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一种两端带水冷的工艺管.pdf

    本实用新型公开了一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体、水冷套、进出水嘴、前后固定法兰、炉门密封圈、密封压紧法兰、工艺管密封圈、后炉门、前炉门、片舟和硅片和设备架体，设备架体的内壁通过前后固定法兰固定安装有工艺管主体，工艺管主体两端靠近设备架体的位置处通过前后固定法兰固定安装有水冷套。本实用新型在两端炉口对密封处热辐射产生的温度，对炉门密封圈的影响，以及加热器对工艺管主体产生的热量，使其内部冷却水的快速流动将热量带走，很好阻断了因工艺管主体传导来的热量对炉门密封圈和工艺管密封圈的热影响，使炉门密

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212962844 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202021101211.1 (22)申请日 2020.06.15 (73)专利权人 青岛赛瑞达电子装备股份有限公

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