一种射频等离子体可视化屏蔽装置.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种射频等离子体可视化屏蔽装置.pdf

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本实用新型属于等离子体技术领域，涉及一种射频等离子体可视化屏蔽装置，包括放电主体和可视化屏蔽结构；所述放电主体包括介质管、正电极和接地电极，所述介质管固定在屏蔽壳内，所述可视化屏蔽结构包括电磁屏蔽玻璃；电磁屏蔽玻璃设置在屏蔽壳上。本实用新型既能在大气压条件下为射频等离子体施加屏蔽效应，又能对等离子体产生区域进行观察和调节的装置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212936272 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202021931079.7 (22)申请日 2020.09.07 (73)专利权人深圳先进技术研究院