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- 2023-02-26 发布于四川
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本实用新型属于微波和光学领域，为解决极低温下纳米谐振器振动模式难以测量的问题，公开了一种测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，纳米谐振器安装在PCB电路板上，固定在低温恒温器内的五轴位移器上，并通过柔性波导和同轴线与激励电源和频率测试装置通信。激励电源产生激励信号使纳米谐振器发生振动。激光器产生的激光经调节，入射到低温恒温器中。移动五轴位移器，使激光照射到纳米谐振器的不同部位均匀分布的若干个点上。通过各点反射光强度的变化，得到该点处纳米谐振器薄膜与衬底的距离，绘制出纳米谐振器的振动模式。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212963949 U
(45)授权公告日 2021.04.13
(21)申请号 202021175988.2
(22)申请日 2020.06.23
(73)专利权人 苏
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