一种晶圆传递机构及晶圆表面薄膜制备装置.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种晶圆传递机构及晶圆表面薄膜制备装置.pdf

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本实用新型涉及晶圆表面薄膜制备技术领域，公开了一种晶圆传递机构及晶圆表面薄膜制备装置，包括中心盘和若干托架，各托架均匀分布于中心盘四周，托架包括弧形架和至少四个承片托，弧形架与中心盘固定连接，承片托均匀固定连接于弧形架内，用于承载晶圆，承片托的梢部的上表面低于根部的上表面；该晶圆传递机构及晶圆表面薄膜制备装置的承片托梢部的上表面低于其根部的上表面，在各个承片托中间的位置形成一个下陷的晶圆承载区，晶圆在该区域内被承片托根部较高的部分限制住，从可以使晶圆在承片托上保持稳定，防止其滑落。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212934580 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202022406307.5 (22)申请日 2020.10.26 (73)专利权人天津维普泰克科技发展有限公司