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具有加热功能的履带刻蚀腔.pdfVIP

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  • 2023-02-26 发布于四川
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具有加热功能的履带刻蚀腔.pdf

    本实用新型涉及一种具有加热功能的履带刻蚀腔。具体说，是用来除去履带上二氧化硅薄膜的具有加热功能的履带刻蚀腔。其含有腔体。所述腔体由平板和平板一面四周的腔壁而构成，所述平板上均布有喷气孔。所述腔壁的内侧面上有周向台阶，周向台阶之外依次有内封板和外封板，内封板和外封板上均有进气孔，其特点是：内封板与外封板间有加热片。所述加热片的面积小于内封板，其贴合在与外封板相邻的内封板一面上，其上有与所述进气孔相应的通孔。采用本实用新型，可提高反应效率，能完全除去履带上的多余二氧化硅薄膜。适用于常压式化学气相沉积

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212955343 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202021220206.2 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人 无锡柏斯威科技有限公司

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