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微机电系统麦克风.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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微机电系统麦克风.pdf

    本实用新型公开一种微机电系统麦克风，包括一基板、一背板、一振膜以及多个长孔。前述背板设置在前述基板的一侧，前述振膜活动地设置在前述基板与前述背板之间。前述长孔形成于前述振膜上，且彼此相隔一距离，其中前述长孔具有非均匀一致的宽度，用以降低前述振膜上的残余应力。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218526441 U (45)授权公告日 2023.02.24 (21)申请号 202222523291.5 (22)申请日 2022.09.23 (73)专利权人 美商富迪科技股份有限公司 地址

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