一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统.pdfVIP

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2023-02-27 发布于四川
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一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统.pdf

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本实用新型公开一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。本实用新型采用三片球面镜对激光光束进行准直，再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直，微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚，而对X方向的光束进行发散，最终在工作面上形成长度为180‑200mm，宽度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212965651 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202021482545.8 (22)申请日 2020.07.24 (73)专利权人常州市奥普泰克光电科技有限公