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- 2023-02-27 发布于北京
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本实用新型涉及一种光学监控机构及镀膜设备，所述光学监控机构包括：监控板与转轴，所述监控板开设有第一监控孔及第二监控孔，所述第一监控孔与所述第二监控孔在所述监控板上间隔设置，且所述第一监控孔到所述监控板圆心的距离与所述第二监控孔到所述监控板圆心的距离不相等，所述第一监控孔与所述第二监控孔用于供光线穿过；所述转轴与所述监控板的圆心连接，所述转轴用于驱使所述监控板转动。通过两路光线能够检测镀膜基板不同半径位置的光强变化，以此得到两个位置的膜厚度变化，从而实现双路监控，并通过设置多个监控孔，能够实现多光
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218521333 U
(45)授权公告日 2023.02.24
(21)申请号 202222670211.9
(22)申请日 2022.10.11
(73)专利权人 苏州岚创科技有限公司
地址 21
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