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- 2023-02-27 发布于北京
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本实用新型涉及一种用于晶圆机台的风扇安装支架，包括：支架主体，支架主体是包括空腔的直板形主体，并且支架主体的一端延伸出延伸部；延伸部包含空腔；进气部，该进气部设置在延伸部上；出气部，该出气部设置在支架主体的另一端上；其中，与进气部相对的延伸部侧面与支架主体形成钝角。本实用新型还涉及一种晶圆机台机架箱体的抽气系统。本实用新型的系统将直流风扇升级为涡轮风扇，避免叶片摩擦其它部件产生碎片颗粒，影响洁净度，通过风扇安装支架的改造，将风扇下移动，避免风扇正对晶圆承载平台。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212985631 U
(45)授权公告日 2021.04.16
(21)申请号 202021799088.5 H01L 21/67 (2006.01)
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