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一种大容量大尺寸兼容的硅片清洗承载器.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种大容量大尺寸兼容的硅片清洗承载器.pdf

    本实用新型涉及硅片技术领域，尤其为一种大容量大尺寸兼容的硅片清洗承载器，包括下底板和后承载杆，所述下底板上端后侧固定连接有后承载杆，所述后承载杆上端固定连接有上盖板，所述上盖板下端中部固定连接有中间承载杆，所述中间承载杆下端与下底板固定连接，所述下底板上端前侧固定连接有转动座；本实用新型中，通过设置的后承载杆、中间承载杆、前承载杆、放置槽一、放置槽二、放置槽三、转动座、限位螺纹孔和限位螺栓，通过变更花篮结构框架，设置承载杆和放置槽来固定硅片，不仅便于硅片的放置和固定，也可以增加装载量及兼容性，提

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212991057 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202022081913.4 (22)申请日 2020.09.21 (73)专利权人 无锡中环应用材料有限公司

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