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本实用新型涉及金属涂层涂覆技术领域,尤其为一种基于气相沉淀技术的涂层涂覆装置,包括底座,所述底座的顶部焊接有反应箱,所述反应箱内腔背面的两侧均固定安装有加热器,所述底座的内壁焊接有隔板,所述隔板顶部的中心处轴承支撑有转管;本实用新型通过反应箱、隔板、转管、连接盒、第一真空泵、电机、主动齿、从动齿、喷气管、滑轨、托板、等离子体发生器和输送管的设置,使涂层涂覆装置具备气体分布均匀的优点,同时解决了现有的化学气相沉积成膜过程中,是将工件放置在反应舱内,然后向舱内充入化学气体,整个反应过程为被动式进行,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212955339 U
(45)授权公告日 2021.04.13
(21)申请号 202021619096.7
(22)申请日 2020.08.06
(73)专利权人 山东合创涂层技术有限公司
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