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一种用于IC载板化学镀的镀液循环装置.pdfVIP

一种用于IC载板化学镀的镀液循环装置.pdf

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本实用新型提供了一种用于IC载板化学镀的镀液循环装置,此装置和镀槽中的包含两个喷流盒的喷流组件配合使用,每个喷流盒具有一设置有多个喷流孔的侧面,待镀IC载板悬挂在两个多孔喷流盒之间。该镀液循环装置包括泵、管道、提供镀液入口的“H”形顶部开口槽部件和提供镀液出口的部件,“H”形顶部开口槽部件位于待镀IC载板的垂直下方,包括左侧竖向顶部开口槽、右侧竖向顶部开口槽和位于它们之间的横向顶部开口槽,左侧竖向顶部开口槽和右侧竖向顶部开口槽基本上平行于待镀IC载板所在的平面。该循环装置与喷流组件配合形成真空虹

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212983047 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202020994398.6 (22)申请日 2020.06.03 (73)专利权人 确信乐思化学(上海)有限公司

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