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本实用新型公开了一种SPM酸洗机,包括固定箱体、固定板、酸洗槽和水箱,所述固定箱体内顶部通过连接杆连接有固定板,所述固定箱体内顶部一端设置有安装盒且安装盒内底部通过螺钉安装有PLC控制器,所述固定板一端通过金属套圈和螺钉安装有转动电机,所述固定板顶端一侧通过轴套安装有丝杆,所述丝杆底端外围套设有轴承且轴承外围套设有滑动丝块,所述固定板一侧两端均焊接有滑轨且滑动丝块端部位于滑轨内。该新型能方便进行取料放料,还能方便带动晶片在酸洗槽内进行一定程度的抖动,清洗效果佳,能方便对清洗槽进行升温和降温,便于
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213001497 U
(45)授权公告日 2021.04.20
(21)申请号 202021331434.7
(22)申请日 2020.07.09
(73)专利权人 北京南轩兴达电子科技有限公司
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