立式截断机晶锭截断支持装置.pdfVIP

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2023-03-01 发布于北京
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立式截断机晶锭截断支持装置.pdf

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一种立式截断机晶锭截断支持装置，包括加工台连接手臂、晶锭夹持组件，加工台连接手臂的一端固定设有加工台连接板，加工台连接手臂的另一端与晶锭夹持组件固定连接，晶锭夹持组件包括移动支撑部件、固定支撑部件、支撑底板，本实用新型是通过加工台连接板与立式截断机固定，可使晶锭夹持组件和立式截断机的加工台以相同的速度移动；利用移动支撑部件、固定支撑部件将晶棒夹持，可更好地环抱晶棒，消除晶棒本体与晶锭之间存在的位置差异，减小重力引起的崩边，而且可根据晶棒尺寸来调节移动支撑部件、固定支撑部件之间的距离。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213055450 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021771363.2 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公