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本发明涉及清洗烘干设备技术领域，具体涉及一种烘干装置、烘干系统及清洗机。所述烘干装置包括：壳体，其内部形成适于放置待烘干件的烘干腔，所述壳体开设有进风口和出风口；支撑件，固定在所述壳体内且适于支撑待烘干件；擦拭件，安装在所述壳体内且可沿直线滑动，所述擦拭件适于对待烘干件进行擦拭；直线驱动机构，与所述擦拭件连接，适于驱动所述擦拭件沿其直线滑动方向往复运动。本发明的烘干装置，相对于现有风刀清理的方案而言，一方面不会将水珠吹散至硅片上，降低了水纹印产生的概率；另一方面，本发明将擦拭件及直线驱动机构皆设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114018002 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111306294.7 F26B 25/02 (2006.01)
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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