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本实用新型公开了一种晶圆FOUP自动装载机Loadport自动定位送料装置,包括箱体、螺母座、圆头螺栓、工作台、装载板、在席传感器、定位柱、装载气缸、活塞杆、卡勾、支座、活动孔、送料气缸、电磁阀、开关按钮、V形安装板和安装孔;该实用新型,在装载板上增设在席传感器和定位柱,使晶圆盒能正确的放置在装载板上,从而对晶圆盒的装载进行了定位,方便人员确认晶圆盒是否在席或放置妥当,提高了开盖模组和送料模组之间配合的准确性,保障了晶圆检查机的正常运转,提升了晶圆的检查效率,在装载板上增设装载气缸和卡勾,从而
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213042889 U
(45)授权公告日 2021.04.23
(21)申请号 202021688592.8
(22)申请日 2020.08.14
(73)专利权人 憬承光电科技(厦门)有限公司
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