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本实用新型公开了一种可气体保护的扫描电镜样品台，包括盒体、盒盖和软臂，盒体为圆形或者矩形，盒盖在边缘处有突出，在盒盖与盒体接触面附有粘贴胶，可与盒体紧密粘贴，以实现盒内与盒外气体隔绝；软臂可与盒盖加工成一体，或者通过粘贴或者其他方式实现与盒盖突出处固定。样品台通过气体保护，实现了样品与空气的隔绝。在样品台置于样品交换仓后，通过交换仓的仓门与仓体夹住并固定软臂，待交换仓到达仪器设定的真空度后打开通道阀门将样品推入样品仓。本实用新型使用气体保护的样品台工艺简单，易于制作且成本低廉。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213042869 U
(45)授权公告日 2021.04.23
(21)申请号 202021135065.4
(22)申请日 2020.06.18
(73)专利权人 中国科学技术大学
地
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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