阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构.pdf

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本发明公开了一种阻尼可调型硅微音叉谐振式加速度计结构，加速度结构设置在三层单晶硅的中层单晶硅片上，该结构包括质量块、两个谐振器、四个微杠杆放大机构、应力释放机构、多个支撑梁、多个阻尼调节机构和多个固定基座；阻尼调节机构均匀布在质量块上；两个谐振器关于x轴对称布置在质量块中间，微杠杆放大机构位于两个谐振器之间；两个谐振器内侧的一端分别与两个微杠杆的输出端相连，与同一个谐振器相连的两个微杠杆的支点端连接到同一个应力释放机构，再与固定基座相连；微杠杆机构的输入端与质量块相连，质量块通过支撑梁与固定基座

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112881753 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110049185.5 (22)申请日 2021.01.14 (71)申请人南京理工大学地址