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一种适用于MPCVD的TM022模式微波等离子体反应器.pdfVIP

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  • 2023-03-01 发布于四川
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一种适用于MPCVD的TM022模式微波等离子体反应器.pdf

    本实用新型涉及微波等离子体反应器技术领域，具体是一种适用于MPCVD的TM022模式微波等离子体反应器，用于解决现有技术反应器中在钼托盘上不能产生扁平等离子体，从而降低了金刚石晶体或镀膜生长效率的问题。本实用新型包括反应腔体和同轴馈入，所述反应腔体内安装有钼托盘，所述石英密封窗的顶面安装有水冷台，所述钼托盘安装在水冷台的顶面，所述水冷台内开有与同轴馈入连通的通道，所述水冷台的顶面还开有与通道连通且位于钼托盘底面的凹坑，所述钼托盘的边缘还开有与凹坑连通的通孔。本实用新型在微波高强场和温度场的共同作

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213037844 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021248880.1 C30B 25/00 (2006.01) (22)申请日 2

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