一种硅片清洗供水系统.pdfVIP

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2023-03-01 发布于北京
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一种硅片清洗供水系统.pdf

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本实用新型提出了一种硅片清洗供水系统，包括：依次连通的存水箱、空气热水器、离心泵、分流管道、清洗管道、药洗槽、溢流管道和第三管道，分流管道的上段连接若干清洗管道的进水口；每个清洗管道的出水口均连通一药洗槽；所有清洗管道的长度均相同；分流管道竖直设置；溢流管道为圆形并依次连通药洗槽的下段；溢流管道上设置排水阀；溢流管道的中心线与分流管道的轴线重合。本实用新型通过空气热水器将纯水加热至恒温，之后将恒温的纯水输入各个药洗槽内，避免了药洗槽本身直接加热，节约了电能；同时分流管道和清洗管道配合，将纯水同时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213051802 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021441010.6 (22)申请日 2020.07.20 (73)专利权人江