高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法.pdf

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一种高频电力电路，包含第一天线电路(Lin,VCin1,VCin2)、第二天线电路(Lo,VCo1,VCo2)及控制部(51)。第一天线电路包含用于生成等离子的第一天线(Lin)、第一分配用电容器(VCin1)及第一可变电容器(VCin2)。第二天线电路包含用于生成等离子的第二天线(Lo)、第二分配用电容器(VCo1)及第二可变电容器(VCo2)。控制部依据生成等离子时的第一天线与第一可变电容器的串联部的电流与电压的相位差的检测结果，以该相位差变小的方式设定第一可变电容器的电容值。此外，控制部依

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114303227 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202180005049.4 (51)Int.Cl.