舱门气压调整装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型公开了一种舱门气压调整装置,包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件,其中,质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体,靶板和升降机构设于真空腔体的内部,升降机构用于驱动靶板上升或下降,当升降机构将靶板升起并置于过渡腔体与真空腔体之间时,过渡腔体与真空腔体相互独立;舱门设于质谱仪本体上且位于过渡腔体的一侧,舱门用于封盖或打开过渡腔体;导气组件和抽真空组件均与过渡腔体连通,导气组件用于向过渡腔体内部导入气体,抽真空组件用于对过渡腔体内部进行抽真空。根据本实

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213071061 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021953392.0 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人 珠海美华医疗科技有限公司

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