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晶圆固定台、贴膜机及划片机.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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晶圆固定台、贴膜机及划片机.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆固定台、贴膜机及划片机，所述晶圆固定台包括基体、notch定位柱、第一定位柱和第二定位柱，notch定位柱固定在基体的上表面上，notch定位柱的中心线与基体上A点的距离为d1，notch定位柱的高度小于或等于晶圆的厚度，基体的上表面上开设有第一、第二定位孔，第一、第二定位柱分别可拆卸地安装在第一、第二定位孔中，第一、第二定位柱的外圆周面与基体上A点的距离均为d1，第一、第二定位柱露出基体上表面的长度均小于或等于晶圆的厚度。所述贴膜机及划片机均包括所述晶圆固定台。本实用新

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213093180 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202120624923.X (22)申请日 2021.03.29 (73)专利权人 西安奕斯伟硅片技术有限公司

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