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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域,尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。包括维修架底架,所述维修架底架上设有翻转架框架,所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构,所述翻转架框架两端设有用于转动翻转架框架并带动靶门一起翻转的翻转组件,把一体式的圆柱靶与靶门定位固定在翻转架框架上,对靶门其中一面检修后,再通过人工转动手轮使翻转架翻转进而实现放置于翻转架上靶门的翻转,不仅可以处理靶电机和流量计,也可以翻转后处理靶材维护、检查、排水、阴极等问题,大大降低工作难
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213086092 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202020618009.X
(22)申请日 2020.04.22
(73)专利权人 广东生波尔光电技术有限公司
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