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一种晶圆测试装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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一种晶圆测试装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆测试装置，包括箱体，所述箱体内部设置有测试组件，所述测试组件包括液压缸、圆筒、电机、套杆、探针、传动轴、圆盘、连接轴、连杆、滑块和定位杆，所述液压缸输出端与圆筒底部固定连接，所述圆筒外侧设置有槽口，所述圆筒内壁固定连接有夹块，所述电机设置于圆筒顶端，所述电机输出端固定连接有丝杆。本实用新型通过连杆摆动可以带动滑块前后移动，从而带动定位杆前后移动，有利于将测试完成的晶圆推出，通过定位杆和探针的配合可以将测试完成的晶圆自动推出，并且可以快速地进行下一次测试，从而在实际作业中提

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213091729 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202022105570.0 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 深圳市海芯微迅半导体有限公司

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