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- 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括：衬底、底电极、调谐层、压电层以及顶电极，底电极设置在衬底的上表面，调谐层设置在底电极的上表面，压电层设置在调谐层的上表面，顶电极设置在压电层的上表面，底电极和顶电极均连接有电极引出结构以在顶电极和底电极之间施加直流偏压，调谐层的有效面积大于顶电极的有效面积且大于底电极的有效面积；压电层内填充有导热层。该谐振器在底电极上加入调谐层，从而在现有电路的基础上集成一个可变电容，外加直流偏压时压电层产生形变，通过偏压调整形变量从而控制可变电容的大小，在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213125990 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202020958671.X
(22)申请日 2020.05.27
(73)专利权人 广州市艾佛光通科技有限公司
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