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- 2023-03-02 发布于四川
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一种连续不间断的光刻机放料装置，包括光刻机、输送机台、上输送装置和下输送装置；其中，所述光刻机放料盒包括放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板，所述放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一和放料板二对称设置，并且放料板一和放料板二的相对面上设有一组放料槽，所述一组放料槽沿竖直方向平行设置。本实用新型的连续不间断的光刻机放料装置，除了能够通过上输送装置和下输送装置能够轮流进行光刻机放料盒的输送外，使用此光刻机放料盒，可满足全自动化光刻机的全自动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213059210 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202021912465.1
(22)申请日 2020.09.04
(73)专利权人 镇江晶鼎光电科技有限公司
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