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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型属于流体输送设备技术领域，具体涉及一种压电微泵支承结构及气体控制装置。一种压电微泵支承结构，包括压电微泵，包括共振板、压电振子和电极组件，共振板和压电振子依次层叠设置，压电振子的远离共振板的一侧连接有电极组件；底板，与压电微泵的远离共振板的一端连接且两者之间间隙形成进气腔，底板对压电微泵进行支撑和约束。一种气体控制装置，包括压电微泵支承结构；外壳罩设在压电微泵外部，并与电极组件密封连接以形成出气腔，外壳上形成有与出气腔连通的出气通孔。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213063904 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202022082524.3
(22)申请日 2020.09.21
(73)专利权人 常州威图流体科技有限公司
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