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液处理装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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液处理装置.pdf

    本实用新型提供液处理装置。针对向基板供给涂敷液而形成涂敷膜的液处理装置，获得高生产率且省空间。构成如下装置，其具备：第1喷嘴，其在基板之上的各第1喷出位置向该基板喷出第1处理液，以各基板保持部为单位设置；第2喷嘴，其在各基板之上的第2喷出位置以迟于第1处理液从第1喷嘴的喷出的方式向该基板喷出涂敷膜形成用的第2处理液，被多个基板保持部共用；第3喷嘴，其为了在保持于各基板保持部的基板之上的第3喷出位置向基板喷出第3处理液而以各基板保持部为单位设置；回转机构，其使第1喷嘴于俯视时在第1待机部与第1喷出

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213124375 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202021007532.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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