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一种光刻机的取料装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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一种光刻机的取料装置.pdf

    本实用新型公开一种光刻机的取料装置，属于光刻机技术领域；包括主连接臂；主连接臂下端嵌接有取料盘，取料盘底端开槽设置有对位槽口，对位槽口中部嵌入设置有夹头，夹头上端插接有主轴，主轴与夹头之间套接有轴承件；夹头上端中部嵌接有轴管，轴管中部贯穿设置有连接头，连接头与轴管转动连接，连接头与主轴固定连接，连接头下端螺纹连接有胶盘；主轴向主连接臂上端延伸，主轴顶端套接有套筒，主连接臂上端设置有连接轴节，连接轴节下端向主连接臂内侧延伸有轴头，连接轴节通过轴头与主连接臂过盈连接，该种光刻机的取料装置通过轴体间的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213111459 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202021017596.3 (22)申请日 2020.06.05 (73)专利权人 上海阿巴拉电子科技有限公司

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