1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种半导体加工用表面清洁装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.09千字
  • 约 8页
  • 2023-03-02 发布于四川
  • 举报

一种半导体加工用表面清洁装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板，所述顶板底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定连接有升降板，所述升降板底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱，所述连接柱的底部固定连接有清理框，所述清理框内腔的底部固定连接有清理板，所述清理板底部表面的前侧固定连接有清理毛。本实用新型可使表面清洁装置对半导体表面进行清灰和吹灰，这样表面清洁装置的清洁更加彻底，解决了表面清洁装置在使用时，因只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213079226 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202020988315.2 (22)申请日 2020.06.03 (73)专利权人 上海锶坎电子有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >