一种硅片加工用抛光装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型公开了一种硅片加工用抛光装置,包括底座,所述底座的底部固定连接有万向轮,所述底座的内腔活动连接有阻尼限位板,所述阻尼限位板的底部固定连接有弹簧,所述阻尼限位板的顶部固定连接有活动板,所述活动板的顶部贯穿至底座的顶部并固定连接有抛光机,所述底座的两侧均固定连接有固定板,所述固定板的顶部设置有转盘,所述转盘的底部固定连接有螺纹杆。本实用新型通过设置底座、活动板、万向轮、底板、固定板、抛光机、框架、门框、钢化玻璃、盖板、连接管、排水阀、转盘、螺纹杆、万向管、弹簧和阻尼限位板的配合使用,解决了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213105948 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202021033205.7 (22)申请日 2020.06.08 (73)专利权人 刘志全 地址 44

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