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一种晶圆激光切割对准装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种晶圆激光切割对准装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆激光切割对准装置，包括对准装置本体、对准框和标定板，所述对准框内部开设有定位槽，且对准框内部上侧开设有限位槽，同时对准框内部左侧开设有左顶出孔，并且对准框内部右侧开设有右顶出孔；所述标定板设置在对准框内部，且标定板上端与限位块固定连接，同时标定板内部开设有工作槽，并且标定板内部下侧与标针固定连接，工作槽内部设置有晶圆结构，且晶圆结构上设置有定位刻痕。该晶圆激光切割对准装置，使用金属棒穿过左顶出孔、右顶出孔，将标定板从对准框内部顶出，便于对已经磨损变模糊的刻度线进行更换，不

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213053340 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021976879.0 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司

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