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- 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型公开了一种新型掩膜版尺寸测量装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有支撑杆，所述支撑杆的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内表面活动连接有拉杆，所述拉杆的一端固定连接有复位弹簧，所述拉杆的外表面活动连接有第一连接杆，所述第一连接杆的一端固定连接有限位块；通过设计的支撑杆、移动块、第一滑槽、限位块和拉杆，解决了新型掩膜版尺寸测量装置在使用过程中，需要对掩膜版进行固定，然后通过量具对掩膜版进行测量，为了避免量具与固定装置分开使用，使对掩膜版尺寸的测量更加麻烦，降低工作效率的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213090630 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202022482453.6
(22)申请日 2020.11.02
(73)专利权人 上海禾本电子科技有限公司
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