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- 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型属于真空镀膜装置技术领域，具体涉及一种石墨舟支撑件，包括套管、支撑环、内螺纹以及外螺纹，所述套管及支撑环均为中空柱体，所述套管的内径大于支撑环的外径，所述套管的内表面与支撑环外表面之间构成第一缝隙，所述套管的长度小于支撑环的长度，所述支撑环从套管一端伸入，并从套管的另一端伸出，所述内螺纹设置在套管内表面并且所述外螺纹设置在支撑环外表面，所述内螺纹和外螺纹相互咬合，使得套管和支撑环螺纹连接。通过使用本实用新型的所述石墨舟支撑件，可以改善镀膜质量，保证了镀膜的稳定性，还能延长石墨舟的连续使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213113504 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202021193076.8
(22)申请日 2020.06.24
(73)专利权人 江苏微导纳米科技股份有限公司
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