原创力文档- 3
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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型提供一种抛光载具及抛光设备。所述抛光载具包括料篮及内衬，所述料篮上设置有装料口，所述内衬位于所述装料口内且与所述料篮相连接，待抛光的晶圆放置于所述内衬的内侧且与所述内衬具有间距，其中，所述内衬的上下表面均为水平面，且所述内衬与所述晶圆相邻的侧面为弧形面，所述晶圆部分位于所述弧形面内。本实用新型经改善的结构设计，以使内衬更好地和晶圆边缘吻合，可以有效减小甚至完全避免抛光垫在压力作用下产生形变进入晶圆和内衬间的间隙，从而有效避免晶圆边缘的过度抛光，提高晶圆的表面平坦度，有助于提高抛光良率，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213054268 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202022090344.X
(22)申请日 2020.09.22
(73)专利权人 上
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