原创力文档- 9
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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型提供一种阳极可升降的电镀液槽及晶圆电镀设备。该阳极可升降的电镀液槽包括：底座；阳极，所述阳极安装在所述底座上；和驱动机构，所述驱动机构与所述阳极传动连接，用于带动所述阳极沿轴向往复移动。本实用新型提供的阳极可升降的电镀液槽及晶圆电镀设备中，驱动机构可带动阳极沿轴向往复移动，可实现调节阳极的位置，可根据需要调节阳极与阴极晶圆之间的距离，从而调节阳极与阴极晶圆之间的电势差，可获得较佳的电镀效果，电镀精度高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213086141 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202020927104.8
(22)申请日 2020.05.27
(73)专利权人 上海新阳半导体材料股份有限公
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