原创力文档- 6
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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型提供一种屏蔽装置及晶圆电镀设备。该屏蔽装置包括：第一驱动装置；和可转动的外屏蔽件，所述外屏蔽件设置有中空部，用于容纳电镀液并屏蔽电镀液中的电流线；其中，所述第一驱动装置与所述外屏蔽件传动连接。本实用新型提供的用于晶圆电镀设备的屏蔽装置及晶圆电镀设备中，第一驱动装置可驱动外屏蔽件旋转，外屏蔽件可屏蔽电镀液中的边缘电流线，使电镀更加均匀，电镀效果更佳。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213086143 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202020927517.6
(22)申请日 2020.05.27
(73)专利权人 上海新阳半导体材料股份有限公
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